100.000 Staubreinigungsstufe
1. Die Luftreinheit des Reinraums sollte wie folgt getestet werden
(1) Leerzustand, statischer Test
Leerzustandstest: Der Reinraum ist fertiggestellt, die gereinigte Klimaanlage befindet sich im Normalbetrieb und der Test wird ohne Prozessausrüstung und Produktionspersonal im Raum durchgeführt.
Statischer Test: Die Reinraum-Reinigungsklimaanlage befindet sich im Normalbetrieb, die Prozessausrüstung wurde installiert und der Test wird ohne Produktionspersonal im Raum durchgeführt.
(Zwei) dynamischer Test
Der Reinraum wurde unter normalen Produktionsbedingungen getestet.
Die Erfassung von Luftmenge, Windgeschwindigkeit, Überdruck, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Lärm im Reinraum kann gemäß den einschlägigen Vorschriften der allgemeinen Nutzung und Klimatisierung erfolgen.
Tabelle zur Reinheit der Luft im Reinraum (Bereich).
| Sauberkeitsgrad | Maximal zulässige Anzahl Staubpartikel/m3≥0,5μmAnzahl Staubpartikel | ≥5μmAnzahl der Staubpartikel | Maximal zulässige Anzahl an Mikroorganismen Planktonische Bakterien/m3 | Bakterien/Gericht absetzen |
| 100Klasse | 3.500 | 0 | 5 | 1 |
| 10.000Klasse | 350，000 | 2，000 | 100 | 3 |
| 100，000Klasse | 3，500，000 | 20，000 | 500 | 10 |
| 300，000Klasse | 10，500，000 | 60，000 | 1000 | 15 |
