Neben der strengen Kontrolle von Partikeln ist die Elektronikindustrie auch im Maschinenbau tätigsauberes Zimmervertreten durch Clip-Produktionswerkstätten, Reinräume für integrierte Schaltkreise und Disk-Herstellungswerkstätten, gelten außerdem strengere Anforderungen an die Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle, die Beleuchtung (sogar Anforderungen an die Lichtquelle) und Mikrovibrationen, um die Auswirkungen strenger Elektrizität auf die Produktion des Produkts zu beseitigen , damit die Umwelt die Anforderungen des Produktionsprozesses elektronischer Produkte in einer sauberen Umgebung erfüllt.
DerTemperatur und Luftfeuchtigkeit des Reinraumssollte entsprechend den Anforderungen des Produktionsprozesses bestimmt werden.Wenn der Produktionsprozess keine besonderen Anforderungen stellt, kann die Temperatur 20 bis 26 °C betragen℃und die relative Luftfeuchtigkeit kann 30 % bis 70 % betragen.Die Temperatur des Personalreinigungsraums und des Wohnzimmers kann 16 bis 28 °C betragen℃.Gemäß der chinesischen nationalen Norm GB-50073, die mit dem internationalen ISO-Zeichen übereinstimmt, beträgt der Reinheitsgrad dieser Art von Reinräumen 1–9, wobei 1–5 das Luftstrommuster ein unidirektionaler Fluss oder ein gemischter Fluss ist Die Windgeschwindigkeit beträgt 0,2-0,45 m/s.Das 6-stufige Luftstrommuster ist ein nicht unidirektionaler Strom mit einer Luftwechselfrequenz von 50–60 Mal/h.Das 7-stufige Luftstrommuster ist nicht unidirektional, die Luftwechselfrequenz beträgt 15–25 Mal pro Stunde.8-9 Das Strömungsmuster des Bühnenluftstroms ist ein nicht unidirektionaler Fluss und die Luftaustauschfrequenz beträgt 10–15 Mal pro Stunde.
Nach den aktuellen Vorschriften darf der Geräuschpegel (Leerzustand) im Reinraum der Klasse 10.000 einer Elektronikfertigungsanlage nicht größer als 65 dB(A) sein.
1. Der Füllgrad des Reinraums mit vertikaler Strömung im Reinraum der Elektronikfertigungsanlage sollte nicht weniger als 60 % betragen, und der Reinraum mit horizontaler unidirektionaler Strömung sollte nicht weniger als 40 % betragen, da es sich sonst um einen teilweise unidirektionalen Fluss handelt
2. Diestatischer DruckDer Unterschied zwischen dem Reinraum und der Außenseite der Elektronikfabrik sollte nicht weniger als 10 Pa betragen, und der statische Druckunterschied zwischen dem Reinraum und dem nicht reinen Bereich mit unterschiedlicher Luftreinheit sollte nicht weniger als 5 Pa betragen
3. Die Frischluftmenge in einem Reinraum der Klasse 10.000 in der Elektronikfertigungsindustrie sollte das Maximum der folgenden zwei Werte annehmen.
4. TDie Summe der Raumabluftmenge, und die Menge an Frischluft, die zur Aufrechterhaltung des Überdruckwerts im Raum erforderlich istckompensatIonZimmer.
5. Stellen Sie sicher, dass die Frischluftmenge pro Person und Stunde im Reinraum nicht weniger als 40 Quadratmeter beträgt.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 09.09.2021